NIKKEI——日本经济新闻中文版

　　日本王子控股将开展面向2纳米以下最先进半导体的材料业务。开发出了使用木质成分的光刻胶（感光材料），目标是到2028年实现商业化。在日本国内纸张需求减少的情况下，王子控股把利用木质（纸张原料）及现有设备来生产化工产品视为增长支柱。 

　　“王子控股的根基是森林资源，但传统造纸业务呈现出下滑态势。将向造纸以外的业务转型”。社长矶野裕之在2024年12月召开的投资者关系（IR）说明会上如此表示。王子控股开发出了以木质中提取的成分为原料的“生物质光刻胶”。目标是到2030年代实现100亿日元的年销售额。

　　光刻胶属于半导体材料的一种，是绘制电路不可缺少的材料。将其涂覆在基板（晶圆）上并照射光线之后，该部分的成分会发生变化，从而使图案显现出来。经过去除光刻胶等工序后，会在晶圆上形成电路。要提高半导体的性能，电路需要进行微细化。

　　支持新一代光刻设备

　　要生产电路线宽较小的半导体，需要极紫外（EUV）光刻设备。预计新一代EUV光刻设备最早在2027年获得采用，王子控股把重点放在了支持这种光刻设备上。

　　目前主流的“化学放大型”光刻胶被认为在形成微细电路上存在局限性。王子控股开发出了来源于木质的光刻胶，并已确认其达到了2纳米以下半导体工艺所要求的性能。

　　王子控股的光刻胶还具有环境负荷小的优点。为了提高对光的反应灵敏度，以往的光刻胶往往使用被指有害的有机氟化合物（PFAS）。

　　生物质光刻胶仅由来自木质的高分子（聚合物）和溶剂组成。在EUV光照射下，聚合物的易分解性是普通传统产品的约8倍，不需要添加PFAS。即便添加剂的浓度出现细微变化，微细电路也很容易受到影响，因此不使用添加剂可提高图案的清晰度。

　　此前，要将来源于木质的素材用于半导体材料，需要解决去除杂质的课题。植物中含有的金属成分能导电，是半导体制造方面的大敌。王子控股通过改进去除杂质的提炼技术克服了这一难题。该公司在研究把生物质应用于医药品和食品领域的过程中积累了经验，这些经验发挥了积极作用。